LTUF300 激光晶圓自動切割系統(tǒng)
制造商：中國（中科鐳特）
主要功能：激光劃片、開槽
LTUF300S 是一臺集多功能性和智能化于一體的激光晶圓自動切割系統(tǒng)。多功能體現(xiàn)在可用于LOW-K, WLP 等多種表面材料的晶圓切割。智能化體現(xiàn)在此系統(tǒng)配備CCD 圖像定位系統(tǒng)、自動校準系統(tǒng)、隨動系統(tǒng)、全自動上下料系統(tǒng)和常規(guī)應用的數(shù)據(jù)庫自動調用系統(tǒng)。
一、高可靠的批量生產系統(tǒng)
◆ 抗振的大理石平臺支撐結構
◆ 低維護成本的飛秒激光器
◆ 獨有的激光表切技術
◆ 全自動上下料系統(tǒng)
◆ 高精度長壽命的運動平臺
◆ CCD定位系統(tǒng)使加工智能化
◆ 精密的陶瓷微孔吸盤
◆ 自動對焦系統(tǒng)保證加工的焦點位置
◆ 科學的結構保證加工穩(wěn)定性
◆ 用戶界面友好軟件功能強大
二、技術特點
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高性能激光器 進口飛秒激光器，光束質量好、聚焦光班小、切割質量高。 |
超高切割精度 高精度進口直線電機運動系統(tǒng)，切割精度控制在微米量級。 |
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完全自動定位 機器視覺抓取Mark點定位，精度高，無需人工干預，操作簡單，效率高。 |
圖檔處理方便 切割圖檔只需使用AutoCAD等處理即可使用。 |
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大理石結構 全大理石框架結構，減震隔離設計，保證光路穩(wěn)定，高速運動。 |
激光防護系統(tǒng) 符合工業(yè)標準的激光防護結構，保證操作人員安全。 |
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