LT200A 是一臺(tái)智能化的晶圓激光退火系統(tǒng)。主要應(yīng)用于晶圓的熱處理工藝，包括晶圓合金化、注入退火和摻雜活化等。智能化體現(xiàn)在此系統(tǒng)配備圖像定位系統(tǒng)、自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)、溫度智能檢測(cè)、全自動(dòng)上下料系統(tǒng)和常規(guī)應(yīng)用的數(shù)據(jù)庫(kù)自動(dòng)調(diào)用系統(tǒng)。